ISO 5级半导体设施的设计、建造和认证
奥盛的ISO 5级半导体洁净室应用的设计和建造是为了保护您的产品，最大限度地提高吞吐量，并保障工艺的完整性。我们评估您的生产过程、气溶胶流量、沉积过程以及生产过程中挥发性有机化合物（VOC）和颗粒物的风险，以制定适合您的业务和生产过程的定制解决方案。立即联系我们，了解更多关于我们如何与客户合作，规划、设计和调试定制的ISO 5级半导体洁净室晶圆厂设施，以容纳您的生产流程。
项目亮点：
清洁度等级：ISO 5级半导体洁净室设施的设计符合ISO14644-1标准，符合ISO 5（100级）。
可扩展性：洁净室采用模块化预制柱和面板设计和制造，允许部分拆卸以备将来扩建。
洁净室机械控制：精确的温度控制、湿度控制、颗粒物控制、空调、空气分配和正压。
洁净室结构：洁净室采用模块化墙体系统建造，设计用于直接安装在活动地板系统的顶部。洁净室天花板系统由建筑结构支撑。
洁净室地板：洁净室有一个2英尺高的洁净室地板系统，用于回风。
洁净室空气流量：送风混合静压箱位于洁净室的顶部。空调空气由建筑屋顶的空气处理器供应，通过管道系统向下输送到空气增压室。空气通过风扇供电的HEPA过滤器供应到洁净室。空气通过位于活动地板下方的一个回风室返回到服务槽。
